Sabbiatura Anello in titanio

Nella fabbricazione di wafer semiconduttori (cavità PVD/CVD), apparecchiature di rivestimento ad alto- vuoto e reattori di chimica fine ad alta-barriera, le normali flange o anelli di tenuta in acciaio inossidabile sono spesso sovrappeso, si verifica un disadattamento termico con alternanze di alta e bassa temperatura oppure la riflessione superficiale provoca interferenze ottiche o al plasma e non può essere utilizzata. Allo stesso tempo, l'interno della camera a vuoto ha requisiti quasi severi sul tasso di degassamento e sulla superficie microscopica del materiale.

Con una rigorosa selezione di forgiati ASTM B381 (forgiati) di alta qualità al 100% e di elevata purezza come pezzo grezzo, abbiamo lanciato anelli in titanio con lavorazione CNC di precisione ad alte prestazioni con finitura sabbiata e finitura sabbiata. Dopo la tornitura ad alta-precisione, la foratura indicizzata e la lavorazione di fori svasati tramite un centro di lavoro CNC multi-asse, viene introdotto sulla superficie un processo di sabbiatura opaca su scala micron-(Matte Sandblasting) con elevata uniformità. Questo prodotto non solo elimina completamente lo stress da lavorazione e la riflessione superficiale, ma migliora anche notevolmente l'adesione del rivestimento e la velocità di emissione del gas sotto vuoto garantendo al tempo stesso una resistenza estremamente elevata. È un componente di serraggio e tenuta per i semiconduttori-e i sistemi di fluidi ad alto vuoto all'avanguardia a livello mondiale.

I. Eccellenti vantaggi principali (Vantaggi ingegneristici d'élite)

Forgiatura libera integrale e ottimizzazione della grana ottimizzata (integrità della forgiatura e allineamento dinamico): non utilizzeremo mai piastre ordinarie per tagliare direttamente l'anello e tutti gli anelli grezzi in titanio adotteranno la forgiatura libera a tre-vie (processo di forgiatura). Attraverso un rigoroso controllo del rapporto di forgiatura, i grani grezzi-fusi vengono completamente rotti e le linee snelle della fibra metallica (Grain Flow) nel materiale di titanio sono distribuite uniformemente nella direzione circonferenziale. Ciò garantisce che l'anello in titanio non subirà mai micro-creep o spaccature anisotrope quando è sottoposto a una coppia di serraggio dei bulloni ad alta-pressione.

Sabbiatura uniforme su scala micron-e degassamento a vuoto ultra-basso (sabbiatura opaca e degassamento basso): la superficie dell'anello in titanio dopo la lavorazione viene sottoposta a un trattamento di modificazione di granigliatura/sabbiatura densa (viene selezionato corindone bianco o sabbia di vetro di alta-qualità). Ciò non solo conferisce al prodotto un'esclusiva texture grigio argento opaco non riflettente- (finitura opaca anti-riflettente), elimina i vicoli ciechi visivi, ma rimuove anche efficacemente le microscopiche sbavature geometriche. Ancora più importante, modifica lo stato di stress residuo dello strato superficiale e aumenta notevolmente i tassi di adsorbimento e degassamento del gas sotto alto vuoto (UHV).

La foratura CNC di precisione è perfettamente allineata con il foro svasato poroso (Foratura e svasatura CNC di precisione): come mostrato nella figura, sono presenti più serie di fori passanti equamente divisi e fori svasati a gradini (fori svasati) fresati con precisione dal centro di lavoro CNC sulla superficie del prodotto. L'interasse del foro e la tolleranza della coassialità sono controllati con precisione entro ± 0. 02 mm, consentendo di ottenere un perfetto assemblaggio non-distruttivo con gioco pari a zero con flangia ad alta pressione-standard europea e americana ASME/DIN e sistema di fissaggio di fissaggio.

II. Parametri tecnici fondamentali e matrice della composizione chimica

I parametri fondamentali sono così ordinati:

Parametri tecnici fondamentali e matrice della composizione chimica

Dimensioni	Specifiche tecniche e matrice
Informazioni di base
Grado materiale	Grado 2 (titanio puro industriale-con la migliore resistenza alla corrosione e bilanciamento della lavorazione, la massima versatilità)
Grado opzionale	Grado 5 (livello di resistenza Ti-6Al-4V, adatto per strutture di fissaggio ad alta pressione estrema e carico elevato)
Standard	ASTM B381 (Specifiche standard per titanio e leghe di titanio forgiate) ASTM B348 (Standard barra grezza)
Stato della fornitura	Stato ricotto (ricotto-R)
Trattamento superficiale	Sabbiatura ad alta uniformità Sabbiatura (sabbiatura opaca) + Passivazione Pulizia ad ultrasuoni Tolleranze delle specifiche geometriche
Geometria
DE/ID	DE personalizzabile φ 100 mm-φ 1200 mm (vari requisiti di cavità di diametro ultra-grande)
Tolleranza sullo spessore	controllato con precisione entro ± 0. 05 mm e il parallelismo della faccia finale è inferiore o uguale a 0. 03 mm
Profilatura dei fori	Elaborazione personalizzata al 100% di fori passanti,-filettature interne svasate e pollici metriche (fori maschiati) in base ai disegni
Meccanica	Prestazione dell'indice limite della matrice di forgiatura a temperatura ambiente di 20 gradi (pieno rispetto del margine di sicurezza)
Resistenza alla trazione	Grado 2: Maggiore o uguale a 345 MPa｜ Grado 5: Maggiore o uguale a895MPa
Forza di snervamento	Grado 2: Maggiore o uguale a275MPa｜ Grado 5: Maggiore o uguale a828MPa
Allungamento	Grado 2: Maggiore o uguale a20% (con eccellente margine di deformazione elastica-duttile),Grado 5: maggiore o uguale al 10%
Chimica%	segue rigorosamente la specifica ASTM B381 per prevenire l'inquinamento dannoso dei metalli a basso punto di fusione
Ti (matrice pura di titanio)	Grado 2: Equilibrio della matrice (Maggiore o uguale a 99. 2%)\|Grado 5: matrice pura al 90% circa
O controllo delle impurità	Inferiore o uguale a 0,25 % (controllo della finestra stretta per prevenire l'infragilimento del reticolo)
Fe｜ C｜ N	FeMinore o uguale a0.30% ｜ C Minore o uguale a 0.08\% ｜ N Minore o uguale a0.03%
H (controllo centrale dell'infragilimento da idrogeno-)	Minore o uguale a0,015% (150 ppm limitato)

III. Processo di produzione digitale snella (processo di produzione)

Forgiatura libera a tre vie e rilevamento dei difetti-: i lingotti di spugna di titanio ad elevata purezza- fusi da più materiali di consumo sotto vuoto (VAR) vengono ribaltati e disegnati (sconvolgimento e trafilatura) da una pressa idraulica più volte per creare un pezzo grezzo di forgiatura ad anello denso. Implementa test non-distruttivi a ultrasuoni al 100% (test UT) sul pezzo grezzo per garantire che non siano presenti pori, allentamenti o inclusioni all'interno.

Lavorazione meccanica di precisione CNC: il pezzo grezzo di forgiatura viene completamente ricotto e inviato al tornio verticale CNC e al centro di lavoro. Tornitura di precisione del cerchio esterno, del foro interno e della faccia finale, utilizza la piastra di indicizzazione NC per completare il taglio ad alta-precisione del foro svasato a gradini e del foro di fissaggio accoppiato.

Trattamento di sabbiatura superficiale pura: fissare l'anello in titanio lavorato sull'attrezzatura speciale e inviarlo nella sala di sabbiatura automatica. La sabbiatura a pressione costante con un numero specifico di abrasivi al corindone bianco fa sì che la superficie formi uno strato grigio argento opaco uniforme e strutturato.

Pulizia con purificazione a ultrasuoni e imballaggio a prova di umidità-: utilizzare acqua ad alta-purezza e uno speciale agente sgrassante per la protezione dell'ambiente per la pulizia a ultrasuoni multi-passaggio per rimuovere completamente le tracce di polvere e il fluido da taglio lasciati dalla sabbiatura. Dopo l'essiccazione, i prodotti vengono avvolti in modo indipendente con speciale cotone perlato e spediti in una speciale scatola di legno senza fumigazione-per il commercio estero.

IV. Applicazioni globali all'avanguardia (applicazioni di mercato-ad alto valore)

Cavità sotto vuoto per semiconduttori e assemblaggio target di sputtering PVD: in apparecchiature per la deposizione di film sottile sotto vuoto, come anello di ritenzione (anello), anelli di supporto (anelli di supporto) o flangia di tenuta della cavità. La sua superficie sabbiata evita efficacemente l'interferenza della riflessione sul monitoraggio ottico e la velocità di uscita del gas estremamente bassa garantisce la stabilità del vuoto spinto.

Flange per reattori chimici speciali ad alta-barriera (flange chimiche ASME): utilizzate come flange di adattamento anticorrosive leggere, ad alta-resistenza-o anelli di rinforzo sui giunti di tubazioni di reazione ad alta-pressione in acido acetico, poliestere e prodotti chimici fini.

Strumenti di fissaggio per l'esplorazione marina: grazie alla naturale resistenza del titanio alla corrosione dell'acqua di mare, viene utilizzato come anello di fissaggio del coperchio terminale per il guscio di tenuta di sommergibili e sensori subacquei e può resistere a centinaia di atmosfere di forza meccanica esterna-del mare profondo.